FIS4四波动态干涉仪，基于共路四波横向剪切干涉原理。镜头通用；抗振性强，无需单独隔振平台；无需移相，易调节；性价比高；100%国产自研，高精度！ 高抗振性！ 实时观测！
动态干涉仪平面测量光路如图所示：
激光器准直扩束，经分光镜和扩束镜，照射于被检平面，被检平面反射回的光束携带被测平面表面面型信息，通过缩束镜后，进入FIS4传感器进行面型信息解调。
球面动态干涉仪，利用了一个组合的双干涉系统:
（a）FIS4四波剪切干涉测 量系统，激光器准直扩束，经分光镜和标准消球差镜，照射于被检球面，反射光束携带被测球面面形信息，进入FIS4传感器进行面形信息解调。避免了如菲索、泰曼格林等双光束干涉中被检光路受外界扰动影响。
动态干涉仪平面测量光路如图所示：
激光器准直扩束，经分光镜和扩束镜，照射于被检平面，被检平面反射回的光束携带被测平面表面面型信息，通过缩束镜后，进入FIS4传感器进行面型信息解调。
（b）泰曼格林球面干涉调整系统
利用一个泰曼格林干涉系统，双光束分光后，一束经参考镜、另一束经消球差镜及被检球面镜，由此可以通过干涉图观察消球差镜的焦点F'与被检面的球心C重合的调整状态。
◆ 系统整体通过滑块置于五维调整架上，可以通过锁紧手轮固定，方便用户使用过程中进行姿态的调整。
◆ 干涉仪五维调整架如图所示，包含X方向手轮、Y方向手轮、Z方向升降手轮、偏摆手轮、俯仰手轮，分别可以调整干涉仪的X方向、Y方向、Z方向、偏摆角度和俯仰角度。
(C) 组合的FIS4球面动态干涉仪可以获得高精度的稳定的检测结果。
◆ 系统整体通过滑块置于五维调整架上,可以通过锁紧手 轮固定,方便用户使用过程中进行姿态的调整。
◆ 干涉仪五维调整架如图所 示,包含X、Y方向手轮、Z方向 升降手轮、偏摆手轮、俯仰手轮,分别可以调整干涉仪的X、Y、Z方向的偏摆角度和俯仰角度。
动态干涉仪应用1——球面面形检测及比对
动态干涉仪应用2——大口径平行光束波前检测
图示可测量得到一351nm波长经过扩束口径达直径200mm的平行光波前为约0.4um 可以用来检测平行光的波前
动态干涉仪应用3——大口径离轴抛物面波前检测
动态干涉仪应用4——大口径同轴抛物面波前检测
大动态范围高稳定性
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测量方式 |
四波剪切干涉传感器、双干涉光路 |
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光源波段 |
632.8±1nm |
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系统分辨率 |
常规：≥2K×2K、或根据用户需求定 |
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输出图像取样分辨率 |
≥500 x 500 |
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标准消球差镜 |
F1\F3\F5\F7\F9\F13……（根据用户需求选配） |
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动态范围(λ) |
＞100 |
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精度RMS值 (λ) |
≤2/1000 |
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RMS 测量重复性(λ) |
≤1/1000 |
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测量分辨率(nm) |
2 |
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实时显示帧频(Hz) |
10 |
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传感器随机配备 |
图像处理服务器 |
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配备处理软件 |
《四波前剪切波前重构软件》能实时显示输出波前的:PV值、RMS值，面形数据可以以等高图、剖面图、三维图、干涉条纹图等形式进行显示;也可以进行后续的MTF、PSD、PSF、波前梯度、Zernike多项式等分析 |
◆ 友好的软件交互界面包括三维形貌显示、等高图显示、PV、RMS、POW等数值显示
◆ 可自由圆形、方形选取测量区域，选取后可自由调整
◆ 可实时动态采集显示，便于动态观察三维波形变化
◆ 可通过拉线测量高度值曲线、计算区域粗糙度等数值参数
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