FIS4-UV紫外波前传感器

在紫外波段的光学检测中，传统波前传感器往往面临响应波长不匹配、信号衰减快、测量精度难以保证等难题。由浙江大学杨甬英教授领衔的研发团队推出的FIS4-UV紫外波前传感器，专为紫外波段应用场景打造，让高精度紫外波前测量成为现实。

此款传感器适用于激光光束波前检测、光学系统像差测量、光学系统校准、微观刻蚀形貌测量、自适应光学光路、超表面波前测量、平面(晶圆)面形测量、光学球面面形测量等场景。基于四波前横向剪切干涉技术，无需参考镜，单次采集即可获得双方向波前信息。针对紫外波段进行专项优化，具备纳米级精度、宽动态范围、实时处理能力，同时继承共路干涉架构，对环境振动与温湿度波动具备极强适应性，在普通实验室与工业环境下即可实现稳定高精度测量。

配套全自研分析软件，用户可实现从数据采集到分析输出的全流程***体验：友好直观的交互界面支持三维形貌、等高图、相位图、焦斑强度等多维度数据同步可视化，实时动态采集功能让波前变化全程可观测；内置完善的数据分析模块，可自动输出PV、RMS、POW、PSF、OTF、MTF等核心测量参数，让复杂的紫外波前数据处理***直观。

FIS4-UV紫外波前传感器实现了从核心算法到硬件软件的全链路国产自研，性能足以对标国际一线产品。依托本地化快速响应与灵活定制服务，它成功打破海外品牌的技术壁垒与服务限制。FIS4-UV正以自主可控的技术实力，重新定义全球紫外光学测量的边界。