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FIS4-HR高分辨率波前传感器——工业光学检测的“精密尺”

2026-08-24 16:28:01

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一片光学镜片、一块精密窗口、一套成像镜头,其质量好坏往往取决于表面纳米级的起伏。如何在车间现场快速、稳定地检测这些微小形变?今天,我们看看FIS4系列波前传感器



一片光学镜片、一块精密窗口、一套成像镜头,其质量好坏往往取决于表面纳米级的起伏。如何在车间现场快速、稳定地检测这些微小形变?今天,我们看看FIS4系列波前传感器如何让高精度干涉测量走出实验室,落地生产线。


车间现场的波前检测,为何这么难?

在光学元件制造、镜头装配、窗口片质检中,波前畸变直接决定***终产品的成像质量与性能。但传统检测方式长期面临三大“拦路虎”:

  依赖参考镜:泰曼‑格林、斐索干涉仪需要高精度参考面,参考镜自身的面形误差会叠加到测量结果中。

  环境要求苛刻:必须放置在隔振光学平台上,还要恒温恒湿,工厂车间根本无法使用。

  调节繁琐、速度慢:需要移相过程和多步对准,无法实现在线实时检测。

对于白光、LED照明的工业场景(如车窗玻璃畸变、光学平面面形、表面粗糙度),传统方法既昂贵又不切实际。


FIS4-HR不用参考镜、不怕振动,即插即测

FIS4-HR高分辨率波前传感器基于四波横向剪切干涉原理,采用国产自研的随机编码混合光栅(REHG),实现单束光的自干涉。简单来说:待测波前通过特制的数字光栅,在x y 方向各分裂成两束,四束光重叠处产生稳定的二维网格干涉条纹。解调条纹,就能得到PVRMS等波前信息。

参数一览:


相对于微透镜阵列哈特曼传感器具有更多高分辨相位点、适应波段范围更宽、动态范围更大、更优性价比。


三大场景,覆盖工业光学检测核心需求

场景:光学平面/ 球面面形测量

实时检测光学元件表面,输出三维面形图、等高图、PV/RMS值。无需搬运到实验室,装配车间即可完成终检。

场景:光学窗口片畸变检测

工业级高清监控、车载镜头、红外窗口等玻璃元件的微小畸变,会导致成像模糊或几何失真。FIS4-HR快速捕捉透射波前变化,帮助产线及时剔除不良品。

场景:表面粗糙度与微观轮廓

搭配显微物镜,FIS4-HR变身白光轮廓仪,可测量精密加工表面的粗糙度、台阶高度、刻线深度。非接触、不损伤样品,测完即用。


国产自研,用实力说话

FIS4系列波前传感器由浙江大学杨甬英教授领衔的研发团队倾力开发,拥有完全自主知识产权。

✅ 国产自研 – 核心光栅设计、加工、算法全部自主可控,无出口管制风险。

✅ 无需隔振 – 极强的抗振性能,适应于现场及工厂环境的高精度检测。

✅ 实时输出 –10 Hz 全分辨率3D 结果显示,动态观察波前变化。

✅ 傻瓜式操作 – 配套专业软件,一键采集、自动解调,无需移相过程。

✅ 轻巧便携 – 即插即用,可集成于光学系统或手持设备,灵活部署。


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